产品案例

定制在线式真空等离子

日期:2020-11-12    点击数:

客户需求:

1、产品:弹夹装晶圆,在WB焊线、金检后,BRK/HD贴装前的清洗活化,处理后水滴角要在20°以下

2、需要连接流水线

难点:1、晶圆的等离子清洗活化,因为低温要求都使用真空等离子,而架设在流水线上的等离子一般采用常压等离子,需要开发一个真空等离子

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