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等离子清洗机频率有哪几种?及等离子清洗机使用反应气体有哪些?

发布时间:2019-06-17 点击次数:488

等离子清洗机的常用频率为三种:

一:25-40kHz,通常叫发中频超声等离子清洗机电源中频等离子的自偏压为1000V左右应用于较大容积的真空腔体,特点是等离子能量高,但是等离子密度小,无需匹配,。常规是5千瓦至20千瓦。另外在大气等离子清洗中一般也采用相对比较容易激发的中频等离子电源,这个频率特点在实际应用表面处理时侧重利用所激发状态下的离子的物理性能。

二:13.56MHz,射频,最常用的等离子清洗机电源,射频等离子体的自偏压为250V左右在体积相对较小表面处理要求较高的真空腔体中应用广泛,特点是等离子能量相对较低低,但是等离子密度高。效果均匀,成本稍高。常规是100瓦至1250瓦。这个频率特点在实际应用表面处理时兼顾利用所激发状态下的离子的物理性能和化学性能。

三:2.45GHz,微波,成本太高,微波等离子体的自偏压只有几十目前商业生产应用较少偏向在实验室中的小体积的钟罩式微波等离子清洗机、这种等离子能量更低,但密度更高。这种频率特点在实际应用表面处理时偏向利用所激发状态下的离子化学性能。


等离子清洗机的反应气体使用:

一:常压的等离子中反应气体应用的比较少一般来说有2种(1)干燥的CDA(2)N2

(1)大气直喷枪及旋转喷枪类型的等离子清洗机一般都采用的CDA作为反应气体

(2)宽幅的常压等离子清洗机100MM以上)因为电极材料特性、制造工艺的提高,等离子体的产生难度增加,需要用到惰性气体参与,一般选择较为廉价的纯N2

二:在真空等离子清洗机种反应气体就相对较多了,一般有N2、O2、AR、H2、CF4、NH3、SO2、SF6等等,但其中最常见的应用还是N2、O2、AR、H2、CF4这5种。

依据等离子的作用原理可将选配气体分为两类,一类是氢气和氧气等反应性气体,另一类是氩气氮气等非反应性气体

1氢气主要应用于清洗金属表面的氧化物,发生还原反应。在清洗表面氧化物时用纯氢虽然效率高,但这里主要考虑放电的稳定性和安全,在等离子清洗机应用时选用氩氢混合较为合适

2氧气主要应用于清洗物体表面的有机物,发生氧化反应氧气,它被加速了的电子轰击成氧离子、自由基后,氧化性极强。工件表面的污染物,如油脂、助焊剂、感光膜、脱模剂、冲床油等,很快就会被氧化成二氧化碳和水,而被真空泵抽走,从而达到清洁表面,改善浸润性和粘结性的目的。

3等离子处理能提高材料的硬度和耐磨性。氩气和氦气性质稳定,并且放电电压低易形成亚稳态的原子,一方面等离子清洗机利用其高能粒子的物理作用清洗易被氧化或还原的物件, Ar+轰击污物形成挥发性污物被真空泵抽走,避免了表面材料发生反应

4四氟化碳(CF4),六氟化硫(SF6)等,蚀刻和去除有机物的效果会更加显着  N2、O2、NH3、SO2等,在等离子清洗机应用时会和高分子材料反应在原先惰性表面形成活性官能基团等等。

作者:昆山国华电子有限公司-专业等离子表面处理设备生产厂家(张斌)个人见解欢迎指正


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