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等离子体的应用在哪些方面?-昆山国华电子为你解答

发布时间:2019-06-29 点击次数:416

要应用于实验、科研 、医学及小规模的生产领域。

特点:成本低,整机机械、电气结构简单、实用,易维护。控制 方式:手动或者自动控制模式,利用各简单元器件的巧妙 组合成自动控制体系,各参数调整好后,一键完成整个清洗工艺。等离子体◎电源功率、清洗时间、气体流量、净化真空度等参数可设置。◎射频电源(核心器件采用美国进口)◎气体质量流量计采用美国进口,由模拟量输入输出,量程为0-200sccm可在量程范围内无级调节、针阀等控制工艺气体流量。◎清洗完成有提示音◎反射功率过大报警◎工艺气体耗尽报警◎泵热过载报警◎反应仓泄露报警◎电极采用高通量等离子结构,牢固可靠易拆卸。◎反应仓为矩形不锈钢腔体,水平电极放置,间距可调。◎真空泵采用双腔式旋片泵,极限真空度可达2Pa以下,一般采用外置。◎真空泵可选配液位低报警装置



等离子体是的作用:

应用于半导体、

微电子、

COG前、

LED制程、

器件封装前、

真空电子、

连接器和继电器等行业的

精密清洗,塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。

该设备等离子体频率13.56MHz;射频电源功率0~600W可调。产品使用环境条件为洁净厂房和要求干燥的地方,



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