昆山国华电子科技有限公司 欢迎您!

等离子清洗机研发生产厂家

专业提供等离子表面清洗整体解决方案

—— 产品采购热线 ——

15850269454

0512-50109516

新闻中心

News

咨询热线

0512-50109516
联系国华电子

昆山国华电子科技有限公司

联系电话:0512-50109516

电子邮箱:ksguohua@ksguohua.com

公司地址:江苏省昆山市周市镇新镇路729号

立即咨询 在线留言

等离子清洗机处理原理及优点

发布时间:2019-10-10 点击次数:485

一、等离子清洗机的表面改性

1 清洗作用:去除基体表面的弱键以及典型-CH 基有机污染物和氧化物。

主要特点: 只对材料表面起作用而对内部无任何侵蚀, 得到超高洁净表面为下道工序做好准备。

2 刻蚀作用:是利用典型的气体组合形成具有强烈蚀刻性的气相等离子体与物体表面的有机物基体发生化学反应,生成其他比如 CO、CO2、H2O 等气体,从而达到蚀刻的目的。主要特点:刻蚀均匀;不伤害工件基体;能有效去除表面异物,达到理想刻蚀度。

3 活化作用: 使基体表面形成 C=O 羰基 (Carbonyl) 、 -COOH 羧基(Carboxyl) 、 OH 羟基 (Hydroxyl)三种基团。这些基团具有稳定的亲水功能,对粘接有积极作用。

主要特点:可使聚合物表面出现部分活性原子、自由基和不饱和键,这些活性基团与等离子体中的活性粒子发生反应生成新的活性基团,从而增加表面能量,改变表面的化学特性,增强表面附着力、粘结力。

4 涂层(接枝、沉积)作用:在等离子涂镀中两种气体同时进入反应舱,气体在等离子环境下会聚合。这种应用比活化和清洗的要求要严格一些。典型的应用是保护层的形成,应用于燃料容器、防刮表面、类似聚四氟乙烯(PTFE)材质的涂镀、防水镀层等。

主要特点: 可使材料表面分子链发生断裂产生新的自由基、双键等活性基团, 随之发生交联、 接枝等反应;同时活性气体会在材料表面聚合产生一层沉积层,此沉积层的存在将极大地提高材料表面的粘接、涂覆和印刷的结合力。

二、等离子体清洗原理
通过化学或物理作用对工件表面进行处理,实现分子水平的污染物去除(一般厚度为几个~几十个纳米),从而提高工件表面的活性。被清除的污染物可能为有机物、环氧树脂、光刻胶、氧化物、微颗粒污染物等。对应不同的污染物,应采用不同的清洗工艺,根据选择的工艺气体不同,等离子清洗分为化学清洗、物理清洗及物理化学清洗。
1 化学清洗:表面作用以化学反应为主的等离子体清洗,又称 PE。

从反应式可见,氧等离子体通过化学反应可使非挥发性有机物变成易挥发的
H2O 和 CO2。

从反应式可见,氢等离子体通过化学反应可以去除金属表面氧化层,清洁金
属表面。
2 物理清洗:表面作用以物理反应为主的等离子体清洗,也叫溅射腐蚀(SPE)。

Ar+在自偏压或外加偏压作用下被加速产生动能,然后轰击在放在负电极上的被清洗工件表面,一般用于去除氧化物、环氧树脂溢出或是微颗粒污染物,同时进行表面能活化。
3 物理化学清洗:表面作用中物理反应与化学反应均起重要作用。
三、等离子体技术应用的优点(传统的工艺相比较):
1 不会改变基体固有性能,改性作用仅仅发生在表面,约几到几十个纳米。如半导体纳米蚀刻。
2 全程干燥的处理方式(干式法) ,无需溶解剂和水,几乎不产生污染,因而节约能源,降低成本。
3 作用时间短,反应速率高,加工对象广,能显著提高产品质量。
4 工艺简单、操作方便,生产可控性强,产品一致性好。
5 属于健康型工艺,对操作人员身体无伤害。


国华电子
  • 国华电子联系人:张斌
  • 国华电子联系电话:15850269454/0512-50109516
  • 国华电子传真:0512-50109519
  • 国华电子电子邮箱:ksguohua@ksguohua.com
  • 国华电子地址:江苏省昆山市周市镇新镇路729号
国华电子
版权所有:昆山国华电子科技有限公司        备案号:苏ICP备14016163号-1        技术支持:京马网    傲马系统