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等离子清洗机处理晶圆要注意的问题

日期:2019-08-06    点击数:

等离子表面处理对晶圆产品来说最主要的功能就是超清洁效果/活化效果但是因为在晶圆及芯片的特殊性需要注意一下几点:

(1)晶圆本身耐温多少度?---对温度敏感的需要要求等离子表面处理设备增加腔体控温系统。

(2)耐负压么?-应为真空等离子清洗机是要抽真空的,防止部分类型芯片抽真空后爆裂损。

(3)耐氧化程度怎么样?-在测试等离子表面处理工艺的时候若发现氧化、变色,请立即降低放电功率或更改等离子表面处理的工艺气体种类,使用惰性气体或还原性气体。

(4)注意要求等离子清洗机的尺寸和产品合适不合适、有实力的等离子清洗机生产产家都可以定制尺寸的。

(5)注意要求等离子表面处理设备厂家解决托盘的材料使用防震防划伤类型。

昆山国华电子科技有限公司是家及等离子清洗机生产、研发为一体的专业公司,他们免费提供等离子表面处理的整理解决方案,有需求可以咨询。

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