问答FAQ

等离子清洗设备不起辉的原因是什么?

日期:2019-08-13    点击数:

等离子清洗设备不起辉主要有两个方面:

正常工作时真空度一般在70-100Pa之间。

设备出现故障代替反应舱。将其放入舱体内。开主机电源,观察灯管是否有产生辉光。(此时反应舱体应该为常压,检差射频电源部分有问题,检查真空系统(如真空管接口是否松动,真空管是否老化漏气等等)。

等离子处理为什么需要真空环境? 

在真空环境产生等离子体的原因很多,主要有有两个原因: 

引入真空室的气体在压力环境下不会电离, 在充入气体电离产生等离子体之前必须达到真空环境。 

另外,真空环境允许我们控制真空室中气体种类,控制真空室中气体种类对等离子处理体过程的可重复性是至关重要的


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