真空等离子清洗机上不容忽视的密封件

背景技术

随着微电子技术的不断发展，相关生产企业的竞争越来越激烈，降低成本、提高生产效率则是提高企业竞争力的常用手段。如LED光源生产企业为提高生产效率、降低生产成本，在刻蚀工艺过程中采用托盘搬运的方式实现同时搬运和刻蚀多个基片。

在实际使用过程中，由于方形结构的密封圈5不易变形，使得刻蚀加工设备存在问题：第一，基座1与托盘2不能很好地接触，从巾影响基座1与托盘2之间的热传导，导致托盘2表面温度不均匀，从而影响刻蚀工艺的稳定性，如温度较高的区域可能出现光刻胶崩溃的问题。第二，密封圈5的顶部和内侧不易密封，使得背吹空间3不能很好地密封，从而导致氢气泄漏，这不仅影响丁艺腔室的真空度以及降低气冷的效果.而且还导致生产成木的增加.在实标应用中，尽管可以通过增加作用在托盘2上的机械力而增大密封网的变形量，但是，增大机械力又容易导致石英材料制成的机械压环4味碎，因此，增大作用在托盘上机械力的方式不能完全解决上述问题。

为解决上述技术问题，作为本实用新型一个优选实施例，在密封圈本体内侧设置第二凸部，借助第二凸部可以提高密封圈轴向的密封性能。类似地，本实用新型提供的等离子体加工设备，由于采用本实用新型提供的密封圈，借助易于变形的第一凸部和第二凸部不仅可以分别提高密封圈径向和轴向的密封性能，使得背吹空间获得良好的密封，从而可以减少因氦气泄漏对工艺腔室真空度的影响，同时减少氦气的使用量，降低生产成本。而且，第一凸部可以使基座和托盘保持良好的接触，从而提供托盘表面温度的均匀性，这又使得置于托盘顶部不同位置的基片的刻蚀速度相同，提高刻蚀工艺的稳定性，提高产品的质量。

密封件的选择是否合适，是一台真空等离子清洗机密封性好坏的关键。其实，真空等离子清洗机如何选择合适的密封件也是有方法可循的。真空等离子清洗机上所使用的密封件从种类上分主要有3种，第一种是O型密封圈、第二种是管路支架密封件、第三种是密封垫片。

分类

1.真空等离子清洗机上所使用的O型密封圈
O型密封圈(O-rings) 是一种截面为圆形的橡胶密封圈， 因其截面为O型， 故称其为O型橡胶密封圈。O型密封圈是机械设计中最常见的密封元件之一。主要运用在真空等离子清洗机的真空腔体与其他部件相连接的部位，起到密封作用，比如真空腔体与真空门之间的密封、馈入电极与真空腔体之间的密封以及真空腔体与真空管路之间的密封。

2.真空等离子清洗机上所使用的管路支架密封件

管路支架密封件是一种运用于真空等离子清洗机外部管路与管路之间相连接的密封件，管路支架密封件一般和真空卡箍一起配合使用，使用时将管路支架密封件放置在管路与管路之间，然后用真空卡箍锁紧，通过真空卡箍的挤压，使管路夹紧管路支架密封件，最终可实现密封效果。主要优点是安装起来十分方便，无需使用工具；密封性能好，主要运用在真空管路之间的连接处上。

3.真空等离子清洗机上所使用的密封垫片

密封垫片是一种用于有流体的机械、设备所使用的密封件.密封垫片是金属或非金属的板状材质，经切割、冲压或裁剪等工艺制作而成的，主要用于机器设备的机件与机件之间的密封连接，用于有流体的机械、设备所使用的密封件，密封垫片是金属或非金属的板状材质，经切割、冲压或裁剪等工艺制作而成的。